진공펌핑특허, 방을 셋으로 나눠 단을 밟는 펌핑 시스템 특허등록 사례
- #진공펌핑특허양자컴퓨터용 초고진공 챔버의 차등 펌핑 시스템
- #특허등록10-2955293
- #소요기간특허출원 후 등록까지 1개월
사례 미리보기
진공펌핑특허, 진공도가 다른 방 셋을 좁은 관으로 이어 단계마다 압력을 낮추는 펌핑 시스템이 특허등록됐습니다. 특허법인 테헤란이 진행한 출원 건의 등록 정보와, 진공펌핑특허를 준비할 때 자주 나오는 질문을 함께 정리했습니다.
등록 개요
- 발명의 명칭
- 양자컴퓨터용 초고진공 챔버의 차등 펌핑 시스템
- 출원번호(일자)
- 10-2026-0038392 (2026.03.03)
- 등록번호(일자)
- 10-2955293 (2026.04.16)
2026.03.03
특허 출원
10-2026-0038392
2026.04.16
특허 등록
10-2955293
사례 소개
진공펌핑특허는 펌프의 힘보다 방을 어떻게 나누느냐에서 갈립니다. 한 방에서 한 번에 낮추려 하면 한계에 부딪치죠.
세 개로 나눈 챔버
이번 사례는 양자컴퓨터용 초고진공 챔버의 차등 펌핑 시스템입니다. 방은 셋인데요. 첫째는 소스 챔버로, 안쪽 제1공간에서 단위 중성원자 소스가 만들어지고 그 공간은 제1진공도로 유지됩니다. 둘째는 차등 챔버입니다. 소스 챔버와 마주 보고, 제2공간이 제1진공도보다 높은 제2진공도로 유지되죠. 셋째는 메인 챔버로, 제3공간이 그보다 더 높은 제3진공도로 유지되고요.
차압관이 잇는 자리
세 방은 차압관으로 이어집니다. 좁은 통로로만 통하니 앞방의 기체가 뒷방으로 넘어가는 양이 제한되죠. 단을 밟아 내려가듯 진공도를 올리는 셈인데요. 한 방에서 무리하게 뽑는 대신 방마다 몫을 나눈 구성입니다. 청구항은 세 챔버의 진공도 관계와 차압관의 배치로 세웠습니다.
본 진공펌핑특허 건은 특허출원 후 44일 만에 등록으로 이어졌습니다.
자주 묻는 질문
Q1.진공도를 숫자 대신 관계로 적어도 되나요?
앞보다 높다는 식으로 적으면 넓게 잡힙니다. 실시예에는 구체적인 값을 적어 둡니다. 뒷받침이 있어야 다툴 수 있습니다.
Q2.44일 만에 등록되는 일이 흔한가요?
우선심사와 빠른 순번이 겹치면 가능합니다. 선행자료 정리가 잘 되어 있으면 더 빠릅니다. 흔한 경우는 아닙니다.
Q3.같은 회사가 표면 처리 건도 냈던데요?
같은 장비를 여러 각도에서 나누어 내는 방식입니다. 각 건은 따로 심사됩니다. 범위가 겹치지 않게 설계합니다.
Next Step
이제, 아이디어를
권리로 만들 시간입니다.
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