같은 날 여러 건을 함께 내도 되나요?

됩니다. 이 회사도 같은 날 구조와 방법을 나눠 냈죠. 겨누는 자리가 다르면 나눠 두는 편이 낫습니다.

수치 범위를 청구항에 적어야 하나요?

결과를 가르는 값은 적습니다. 그 대신 좁아지므로 넓은 항을 함께 두죠.

방법 특허는 침해를 어떻게 밝히나요?

공정 기록이나 결과물의 특징으로 봅니다. 그래서 측정 단계를 적어 두면 도움이 되죠.

특허

지그리페어특허, 갈아 낸 뒤 재고 나서 덮은 특허등록 사례

#지그리페어특허 #특허등록 #특허출원 #표면손상 검출단계 #표면 연마단계

2026.07.29윤웅채 변리사

#지그리페어특허정전척 지그 리페어 방법
#특허등록10-2668953
#소요기간특허출원 후 등록까지 6개월

사례 미리보기

지그리페어특허, 정전척 표면의 손상을 검출해 정해진 조도 범위로 갈아 낸 뒤, 초음파로 씻고 평탄도와 두께를 재고 나서 보호필름을 붙이는 지그 리페어 방법이 특허등록됐습니다. 특허법인 테헤란이 진행한 출원 건의 등록 정보와, 지그리페어특허를 준비할 때 자주 나오는 질문을 함께 정리했습니다.

등록 개요

발명의 명칭: 정전척 지그 리페어 방법
출원번호(일자): 10-2023-0154538 (2023.11.09)
등록번호(일자): 10-2668953 (2024.05.21)

2023.11.09

특허 출원

10-2023-0154538

2024.05.21

특허 등록

10-2668953

사례 소개

지그리페어특허는 갈아 내는 데 있지 않고 갈아 낸 뒤 무엇을 확인했는지에서 갈립니다.

갈아 놓고 맞는지 모른 채 덮는다

이번 사례는 정전척 지그 리페어 방법입니다. 정전척 표면이 상하면 그 자리를 갈아 내 다시 씁니다. 그런데 갈아 낸 면이 얼마나 거칠고 얼마나 두꺼운지를 확인하지 않으면 소용이 없죠. 너무 매끄러워도, 너무 거칠어도 붙잡는 힘이 달라집니다. 두께가 어긋나면 웨이퍼가 기울고요. 갈다 나온 가루가 남으면 그것대로 흠이 됩니다. 갈아 놓고 그대로 덮으면 다시 쓰기 시작한 뒤에야 문제를 아는 자리입니다.

조도 범위로 갈고 씻은 뒤 재고 덮는다

이 건은 확인 단계를 넣었습니다. 표면손상 검출단계에서 ESC기능부 표면의 손상을 찾죠. 표면 연마단계에서는 그 표면을 미리 정해 둔 조도값 범위 안으로 갈아 냅니다. 아무렇게나 가는 것이 아니라 목표 거칠기가 정해진 자리고요. 연마표면 세척단계에서 초음파 세척장치로 갈아 낸 표면을 씻은 뒤 표면 평탄도와 표면 두께를 잽니다. 가루를 걷고 결과를 확인하는 자리죠. 그다음 보호필름 부착단계에서 그 표면에 보호필름을 붙입니다. 재고 나서 덮으니 다시 쓰기 전에 이미 확인이 끝난 셈이고요. 청구항은 검출과 연마, 세척·측정, 보호필름 부착의 단계를 차례로 적었습니다.

본 지그리페어특허 건은 특허출원에서 등록까지 약 6개월이 걸렸습니다.