같은 회사가 낸 다른 건이 여럿인데요?

한 부품을 놓고 구조와 수리 방법을 나눠 낸 것입니다. 겨누는 자리가 다르면 각각 세워 둡니다.

층 구성만으로 요지가 되나요?

무엇을 몇 겹 어떻게 쌓는지가 쓰임과 이어지면 됩니다. 이 건도 그 자리죠.

반도체 부품은 어디에 쓸모가 있나요?

납품 협의와 단가 산정에서 근거가 됩니다. 남이 그대로 만드는 것도 막고요.

특허

정전척특허, 위층을 여러 겹 쌓아 한 겹씩 벗긴 특허등록 사례

#정전척특허 #특허등록 #특허출원 #ESC바디부 #ESC기능부

2026.07.29윤웅채 변리사

#정전척특허효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척
#특허등록10-2668954
#소요기간특허출원 후 등록까지 6개월

사례 미리보기

정전척특허, 알루미늄합금 몸체 위에 정전척 기능부를 얹고 그 위에 유전층을 여러 겹 쌓아, 흠이 나면 상한 층만 걷어 내고 다시 쓸 수 있게 만든 다중 레이어 정전척이 특허등록됐습니다. 특허법인 테헤란이 진행한 출원 건의 등록 정보와, 정전척특허를 준비할 때 자주 나오는 질문을 함께 정리했습니다.

등록 개요

발명의 명칭: 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척
출원번호(일자): 10-2023-0154539 (2023.11.09)
등록번호(일자): 10-2668954 (2024.05.21)

2023.11.09

특허 출원

10-2023-0154539

2024.05.21

특허 등록

10-2668954

사례 소개

정전척특허는 흠이 안 나게 만드는 데 있지 않고 흠이 났을 때 어디까지 손대는지에서 갈립니다.

표면에 흠이 나면 통째로 갈아야 한다

이번 사례는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척입니다. 정전척은 전기 힘으로 웨이퍼를 붙잡는 부품입니다. 표면이 아주 평평하고 깨끗해야 하죠. 그런데 웨이퍼를 넣고 빼는 과정에서 긁힘이 생깁니다. 표면 한 자리만 상해도 붙잡는 힘이 고르지 않게 되고요. 지금은 그 표면층을 갈아 내고 다시 입히는데, 시간이 오래 걸리고 두께를 다시 맞추기가 어렵습니다. 값이 비싼 부품이라 그동안 라인도 멈추죠.

유전층을 여러 겹으로 쌓아 둔다

이 건은 위층을 미리 여러 겹으로 두었습니다. ESC바디부가 일정 두께의 블록이고 알루미늄합금으로 되어 있죠. ESC기능부가 그 윗면에 얹혀, 밖에서 들어오는 전력으로 정전척 기능을 합니다. 그 기능부는 바디부 위에 쌓이는 하부절연층과, 그 위의 상부유전층, 그리고 두 층 사이에 놓여 전력을 받아 정전력을 내는 부분으로 이뤄지고요. 멀티레이어부는 그 ESC기능부 윗면에 유전층을 여러 겹 쌓은 것입니다. 흠이 생기면 상한 자리의 레이어 몇 겹만 걷어 내면 되죠. 아래 기능부는 그대로 두니 빠르고, 남은 층이 바로 새 표면이 되는 자리고요. 청구항은 ESC바디부와 ESC기능부, 멀티레이어부, 그리고 기능부의 층 구성을 차례로 적었습니다.

본 정전척특허 건은 특허출원에서 등록까지 약 6개월이 걸렸습니다.