수리 방법도 특허가 되나요?

됩니다. 어떤 순서로 무엇을 대는지가 앞선 것과 다르면 되죠.

반도체 장비 부품은 어디에 쓸모가 있나요?

납품 협의와 단가 산정에서 근거가 됩니다. 남이 같은 방식으로 하는 것도 막고요.

방법만 두면 필름을 파는 쪽은 못 막나요?

방법 청구항만으로는 그렇습니다. 필름 구조를 담은 항을 함께 두면 그쪽에도 닿죠.

특허

정전척리페어특허, 테두리에 필름을 깔아 떼기 쉽게 한 특허등록 사례

#정전척리페어특허 #특허등록 #특허출원 #ESC기능부 #보호필름

2026.07.29윤웅채 변리사

#정전척리페어특허탈거필름을 이용하는 정전척 지그 리페어 방법
#특허등록10-2669549
#소요기간특허출원 후 등록까지 6개월

사례 미리보기

정전척리페어특허, 정전척 표면의 보호필름을 걷어 낸 뒤 테두리를 따라 탈거필름을 먼저 붙이고 그 위에 새 보호필름을 붙여, 다음번에 떼기 쉽게 만든 지그 리페어 방법이 특허등록됐습니다. 특허법인 테헤란이 진행한 출원 건의 등록 정보와, 정전척리페어특허를 준비할 때 자주 나오는 질문을 함께 정리했습니다.

등록 개요

발명의 명칭: 탈거필름을 이용하는 정전척 지그 리페어 방법
출원번호(일자): 10-2023-0154541 (2023.11.09)
등록번호(일자): 10-2669549 (2024.05.22)

2023.11.09

특허 출원

10-2023-0154541

2024.05.22

특허 등록

10-2669549

사례 소개

정전척리페어특허는 새로 붙이는 데 있지 않고 다음번에 뗄 일을 미리 준비했는지에서 갈립니다.

붙은 필름을 떼다 본체를 긁는다

이번 사례는 탈거필름을 이용하는 정전척 지그 리페어 방법입니다. 정전척은 전기 힘으로 웨이퍼를 붙잡는 부품입니다. 표면에 보호필름을 씌워 쓰는데, 그 필름이 상하면 갈아야 하죠. 그런데 잘 붙어 있는 필름이라 떼기가 어렵습니다. 긁어내다 본체 표면에 흠이 나면 그 정전척을 통째로 못 쓰게 되고요. 값이 아주 비싼 부품이라 손실이 큽니다. 붙이는 일보다 떼는 일이 어려운 자리입니다.

테두리에 탈거필름을 먼저 깔아 둔다

이 건은 다음을 준비해 두었습니다. 보호필름 제거단계에서 ESC기능부 표면에 붙은 보호필름을 걷어 내죠. 그다음 보호필름 교체단계에서 새 보호필름을 붙이는데, 그냥 붙이지 않습니다. 먼저 ESC기능부 표면의 테두리를 따라 새 탈거필름을 붙이고, 그 위에 보호필름을 붙이죠. 테두리 아래에 얇은 층이 하나 깔린 셈입니다. 다음번에 갈 때는 그 탈거필름을 잡아당기면 위에 붙은 보호필름이 테두리부터 함께 들리고요. 본체 표면을 긁을 일이 없는 자리입니다. 값비싼 정전척을 여러 번 다시 쓰게 되는 셈이죠. 청구항은 보호필름 제거단계와 교체단계, 탈거필름을 붙이는 순서를 차례로 적었습니다.

본 정전척리페어특허 건은 특허출원에서 등록까지 약 6개월이 걸렸습니다.