플라즈마세정특허, 높낮이를 재고 따라 내려간 특허등록 사례
- #플라즈마세정특허인공지능 반도체 패키지용 플라즈마 세정 장비
- #특허등록10-2759548
- #소요기간특허출원 후 등록까지 6개월
사례 미리보기
플라즈마세정특허, 다이가 실장된 반도체 패키지 표면을 3D로 스캔해 높이 정보를 저장해 두고, 분사 모듈이 그 값에 따라 오르내리며 플라즈마를 쏘아 오염물을 없애는 세정 장비가 특허등록됐습니다. 특허법인 테헤란이 진행한 출원 건의 등록 정보와, 플라즈마세정특허를 준비할 때 자주 나오는 질문을 함께 정리했습니다.
등록 개요
- 발명의 명칭
- 인공지능 반도체 패키지용 플라즈마 세정 장비
- 출원번호(일자)
- 10-2024-0094289 (2024.07.17)
- 등록번호(일자)
- 10-2759548 (2025.01.21)
2024.07.17
특허 출원
10-2024-0094289
2025.01.21
특허 등록
10-2759548
사례 소개
플라즈마세정특허는 세게 쏘는 데 있지 않고 표면과의 거리를 어떻게 지키는지에서 갈립니다.
표면이 울퉁불퉁하면 같은 높이로는 안 된다
이번 사례는 반도체 패키지용 플라즈마 세정 장비입니다. 웨이퍼 위에 다이를 여러 개 쌓아 올린 패키지는 표면이 평평하지 않죠. 높은 데도 있고 낮은 데도 있습니다. 여기에 플라즈마를 쏘아 오염물을 없애는데, 노즐을 한 높이에 고정해 두면 문제가 생겨요. 높은 자리에는 너무 가까워 손상이 가고, 낮은 자리에는 멀어 잘 닦이지 않죠. 세정 조건을 세게 잡으면 소자가 상하고, 약하게 잡으면 남습니다. 힘을 조절하는 것만으로는 닿지 않는 자리입니다.
먼저 스캔해 저장하고 그 값대로 오르내린다
이 건은 재는 모듈을 앞에 세웠습니다. 3D 스캐닝 모듈이 패키지의 실장 표면을 스캔하죠. 표면 형상 저장 모듈이 그 높이 정보를 담아 둡니다. 한 번 재 두면 그 값이 기준이 되는 셈이고요. 플라즈마 생성 모듈이 세정에 쓸 플라즈마를 만듭니다. 플라즈마 분사 모듈은 승강 장치로 표면 높이에 따라 오르내리는데, 저장 모듈이 주는 높이 정보에 맞춰 움직이며 플라즈마를 쏘죠. 표면과의 거리가 어디서나 같아지는 자리입니다. 청구항은 네 모듈과 승강 조건을 차례로 적었습니다.
본 플라즈마세정특허 건은 특허출원에서 등록까지 약 6개월이 걸렸습니다.
자주 묻는 질문
Q1.같은 날 여러 건을 내는 경우가 있나요?
한 라인에 들어가는 장비를 함께 개발하면 그렇습니다. 각각 다른 자리라 따로 내죠. 서로의 앞선 자료가 되지도 않습니다.
Q2.장비를 고객사와 함께 개발하면 권리는 어떻게 되나요?
계약에 정한 대로입니다. 공동 명의가 되기도 하죠. 착수 전에 문서로 적어 둡니다.
Q3.국내만 내도 될까요?
장비가 해외 공장에 들어가면 그 나라에도 필요합니다. 첫 출원일로부터 12개월 안에 정하죠. 수출 계획을 보고 판단합니다.
Next Step
이제, 아이디어를
권리로 만들 시간입니다.
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