본딩장비특허, 기준점 셋으로 자리를 맞춘 특허등록 사례
- #본딩장비특허인공지능 반도체 패키지용 하이브리드 본딩 장비
- #특허등록10-2765525
- #소요기간특허출원 후 등록까지 6개월
사례 미리보기
본딩장비특허, 다이를 웨이퍼에 붙이는 본딩 툴과 다이, 기판에 각각 기준 마크를 두고 광학 모듈로 찍어 그 관계를 계산해 위치를 맞추는 반도체 패키지용 하이브리드 본딩 장비가 특허등록됐습니다. 특허법인 테헤란이 진행한 출원 건의 등록 정보와, 본딩장비특허를 준비할 때 자주 나오는 질문을 함께 정리했습니다.
등록 개요
- 발명의 명칭
- 인공지능 반도체 패키지용 하이브리드 본딩 장비
- 출원번호(일자)
- 10-2024-0094290 (2024.07.17)
- 등록번호(일자)
- 10-2765525 (2025.02.05)
2024.07.17
특허 출원
10-2024-0094290
2025.02.05
특허 등록
10-2765525
사례 소개
본딩장비특허는 정밀하게 움직이는 축이 아니라 무엇을 기준 삼아 맞추는지에서 갈립니다.
축을 정밀하게 만들어도 기준이 흔들린다
이번 사례는 반도체 패키지용 하이브리드 본딩 장비입니다. 다이를 집어 웨이퍼에 앉히는 일이죠. 마이크로미터 아래로 맞춰야 합니다. 그래서 축을 정밀하게 만드는 데 공을 들이죠. 다만 축이 아무리 좋아도 어디가 정확한 자리인지는 따로 알아야 합니다. 열이 오르면 부재가 늘고, 툴을 갈면 위치가 달라지죠. 카메라와 툴 사이의 거리도 매번 같지 않고요. 움직이는 정확도와 기준을 잡는 일은 다른 문제입니다.
툴·다이·기판에 각각 표를 두고 찍어 본다
이 건은 기준점을 셋 두었습니다. 본딩 헤드가 수평과 수직으로 움직이고, 거기 연결된 본딩 툴이 다이를 픽업해 기판용 웨이퍼에 안착시키죠. 그 본딩 툴에 툴 레퍼런스 피듀셜 마크가 있습니다. 다이에는 다이 피듀셜 마크, 기판용 웨이퍼에는 기판 피듀셜 마크가 있고요. 광학 모듈이 이 셋을 찍습니다. 찍은 영상으로 본딩 툴과 광학 모듈을 움직여 서로의 위치 관계를 잡죠. 카메라가 어디를 보고 있는지부터 확인하고 들어가는 결입니다. 청구항은 헤드와 툴, 세 마크와 광학 모듈을 차례로 적었습니다.
본 본딩장비특허 건은 특허출원에서 등록까지 약 6개월이 걸렸습니다.
자주 묻는 질문
Q1.장비 회사는 언제 출원해야 하나요?
고객사에 사양서를 내기 전에 냅니다. 넘기고 나면 내용이 퍼지죠. 계약에 비밀유지가 있어도 출원이 먼저인 편이 안전합니다.
Q2.해외 출원도 함께 봐야 할까요?
장비를 수출하거나 해외 공장에 들어가면 그 나라에도 필요합니다. 첫 출원일로부터 12개월 안에 정하죠. PCT로 시간을 벌기도 합니다.
Q3.6개월 만에 등록된 이유가 있나요?
우선심사를 거치면 이만큼 나옵니다. 구성이 뚜렷하면 의견 제출 없이 통과되기도 하죠. 다만 건마다 다릅니다.
Next Step
이제, 아이디어를
권리로 만들 시간입니다.
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